近年，ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり，熱発電デバイスへの応用が期待されています．そのため，ナノギャップにおける電気特性と熱移動特性の評価が必要となっています．また，現在のナノギャップの作製手法では，対向する2面間の間隔が不均一で対向面積が小さいため，電子の移動量がナノギャップ毎に変化し発電量が小さいという問題があります．そこで，MEMSデバイスを用いた単結晶シリコンのへき開破壊により均一な大面積の平滑面で構成されるナノギャップを形成し，その熱移動特性を評価するデバイスを提案しました．
【応用先】
- 平滑，大面積ナノギャップの物性計測
- 熱発電デバイスの高機能化
