マイクロスケールでのセルフアセンブルプロセスのモデリング
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の高密度，高精度の実装は，その性能向上に欠かせないものです．このような実装を可能にする技術として，近年セルフアセンブルが注目を集めています．本研究では，様々な […]
Research
金ナノ粒子及び金ナノロッドパターニング技術
金ナノ粒子や金ナノロッドは局在表面プラズモン共鳴（LSPR)などの特殊な性質を示す．本研究ではLSPRによる高機能デバイスの実用化を目指している．この目的を実現するためには，(i) 形成自由度が高く，(ii) 高精度な位置決めが可能であり， […]
DNAハイブリダイゼーションによりセルフアセンブルしたマイクロコンポーネントの付着力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の実装技術に関する研究が多く行われている中で，マイクロ・ナノメートルスケールの微細な部品を効率的に実装する可能性を持つセルフアセンブル技術が注目されている．セルフア […]
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されている．これらの解析には複雑な連成解析を要する．そこでシステムを等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合的に […]
金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
金ナノ粒子はバルク材とは異なる特性を有しているため，ナノテクノロジーにおいて様々な応用が期待されます．本研究では，生成過程での化学的反応条件によって粒子径・均一性が大きく依存する金ナノ粒子の生成メカニズムを解明するために，混合速度・反応温度 […]
金ナノ粒子創製用マイクロ流体デバイス
金ナノ粒子はバルクと異なる光学的特性を有しているため，表面増強ラマン散乱(SERS)を用いた化学分析への応用が期待されている． 一般的に，金ナノ粒子は塩化金酸中のAuイオンを還元することで作製されるが，従来のバッチプロセスでは溶液中に還元 […]
形状記憶合金薄膜アクチュエータの基礎技術とその応用
近年加速的にデバイスの小型化が進み，これに伴い小型でかつ高性能なマイクロアクチュエータのへの要望が高まっている． 一般的なマイクロアクチュエータである静電気力駆動型は小型化・変位・応答性，また圧電駆動型は出力・応答性の点で優れている． しか […]
DNAを用いた順序制御可能なマイクロチップアセンブリ
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）にナノ・マイクロオーダーの機能部品をセルフアセンブルさせることで，その性能を飛躍的に向上させることができると期待されている．より高い機能を実現するためには，セ […]
粒子転写法によるナノ粒子パターニング
ナノメートルスケールの粒子は量子効果や局在表面プラズモンの発現，高い反応性などの特殊な性質を示す．本研究ではこれらの特性をデバイスや機能材料へと応用することを目指し，サブミクロン・ナノ粒子から成るナノ構造作製技術（粒子アセンブル技術） […]
ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス
カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C60）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています．我々は特に引張試験に着目し，これまで実現されていない，伸び検出分解能1nm，荷重検出分解能1nNでの高分解能なナノ材料引 […]
薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると，その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります． しかしMEMSデバイスの構造設計に不可欠な薄膜材料の機械的物性（引張強度，ヤング率，疲労特性，etc.）のデータベースは不足しています． ミクロサイ […]
厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術
従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な３次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として，「移動マスクＵＶ露光法」を提案し，露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して，基礎から応用までの研究を展開しています．移動マス […]
