SEMICON Japan 2014
SEMICON 2014出展のお知らせです． 田畑研究室は今年も「SEMICON 2014」に出展します． ↓↓↓ 詳細はこちらをご覧ください ↓↓↓ https://www.semiconjapan.org/ja/ 本展 […]
Yearly Archives: 2014
若手優秀講演表彰受賞
博士課程2年の上杉晃生君と卒業生の鈴木淳也君が日本機械学会2013年度年次大会での下記の講演に対して若手優秀講演表彰を受賞しました． 鈴木 淳也 「多段 ICP-RIE プロセスを用いた架橋構造Si ナノワイヤの加工」 上杉 晃生 「(10 […]
MNC 2014
応用物理学会が主催するマイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議(MNC)が，11月4日〜7日まで福岡で開催されます．田畑研からは以下の１件の発表を行います． [Characterization II] A. Uesugi, Y. Hira […]
The 11th MicRO Alliance Meeting
第11回京都大学－ミシガン大学－フライブルク大学 3大学連携シンポジウムが10月16日にミシガン大学で開催されました．田畑研究室からは田畑教授，平井助教，M2・加藤が参加し，最新の研究成果について議論を行いました． 【３大学交流シンポジウム […]
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます．本研究では時間分解顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン面外振動子に […]
創薬試験のためのマイクロ流体システム
現在の創薬プロセスでは心臓や肝臓などの各種臓器に対する薬物のさまざまな副作用が問題となっています。そこで、ヒト多能性幹細胞（iPS細胞）から分化した組織をマイクロ流体デバイス内に培養し、人の体内でおこる現象をチップ上で再現します。 【応用先 […]
3軸加速度センサのマトリックス感度校正
3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています．本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です．本研究では測定の際に問題となる振動台の回転運動や各センサの取付位置関係の影響評価 […]
DNA origami purification on a chip
After synthesized, DO(DNA Origami) solution contains tons of single-stranded DNA, mis-folded DO as well as well-folded o […]
ＤＮＡオリガミのシリコン基板への選択的配置
現在，多種多様なナノ材料で構成されるナノ機能構造の集積化によるMEMSの高機能化が期待されている．そのためのアプローチの一つとして，我々はナノ材料を配置したDNAオリガミをシリコン基板上にセルフアセンブルすることでMEMSにナノ機能構造を集 […]
単結晶シリコン薄膜の高温引張試験
MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知られていましたが，近年，寸法依存性があることも報告されており，その機械的特性の寸法依存性の評価が課題となっています．そこ […]
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼性が課題となっています．マイクロ構造の引張試験，疲労試験などの試験手法の開発から測定，更にはさまざまな影響 (結晶異方性 […]
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system is composed of a defo […]
