リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため，静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です．本研究では(100)単結晶シ ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by ...