Daily Archives: 2016/04/01


Lab Website Updated

Dear all, Thank you for preparing materials for our lab website. Now most of them have been updated on research pages. P […]


シリコン基板上へのDNAオリガミ固定

金属ナノ粒子やカーボンナノチューブなどの多種多様な微小材料の集積化によるMEMSの高機能化が期待されています.本研究室では,そのアプローチの一つとして,ナノ材料を配置したDNAオリガミ構造体をシリコン基板上に選択的に自己集積化する手法を提案 […]


静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー

眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています.当研究室では,ミラーの凸変形および低電圧駆動を実現 […]


単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度

単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です.単結晶シリコンは脆性材料であることから,破壊強度はさまざまな要因によって大きく変化することが報告されてます.本研究では […]