2015 年度日本機械学会年次大会


機械学会年次大会(https://www.jsme.or.jp/conference/nenji2015/index.html)が9月13日(日)~16日(水)の間,北海道大学で開催されます.
田畑研究室から共著発表を含めて以下の3件の発表を行います.

[J221-03] マイクロ・ナノ機械の信頼性(3)
J2210305
シリコン単結晶における破壊の結晶方位依存性と製造歩留り
○池原毅(産総研),土屋智由

[J221-04] マイクロ・ナノ機械の信頼性(4)
J2210404
ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験
○上杉晃生,平井義和,土屋智由,田畑修

J2210406
静電駆動MEMS 光チョッパを用いた時間分解顕微ラマン応力測定
○ 土屋智由,小北雄亮,平井義和,田畑修