粒子間隔制御可能な金ナノ粒子配列技術
金属ナノ粒子がもつ，Localized Surface Plasmon Resonance（LSPR）と呼ばれる特異な現象を応用し，近年さまざまなデバイス開発が行われている．LSPRは粒子配列を行うことで，光電場の伝搬や大きな電場増強が起こ […]
Research
マイクロ流体デバイスを用いたDNA折り紙の順次的セルフアセンブル
DNAで作製された100nmスケールの薄板（DNA折り紙）は，微小で複雑な構造を作製できる高分子として生体分野での応用が期待されている．本研究ではDNA折り紙を微小機能要素としてMEMS(Micro Electro Mechanical S […]
２液脈動混合の高速化による均一粒径金ナノ粒子の合成
金ナノ粒子は局在表面プラズモンと呼ばれる特性を持つことから表面増強ラマン散乱（SERS）を用いた化学分析などへの応用が期待されています．このような目的には粒径60nmの球状の金ナノ粒子が最適とされているのですが，これらを均一に合成するには合 […]
金属ナノ粒子配列基板を用いた表面増強ラマン分光
金属ナノ粒子は局在表面プラズモン共鳴（LSPR）などの特殊な性質を示す．このLSPRの特性を用いた表面増強ラマン分光（SERS）が知られており、感度や安定性の向上が求められている。本研究では粒子アセンブル技術を用いて、金属ナノ粒子を互いに近 […]
静電容量型超音波トランスデューサにおけるメンブレン構造の最適化
次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子（cMUT）において，更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます．cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており， […]
電気泳動法を利用した平板状ナノ粒子の選択分離
高感度分析として期待される表面増強ラマン散光（SERS）による分光分析において，金ナノ粒子は強い光電場増強効果があることが知られています．中でも三角形平板状粒子の鋭角部分には非常に強い増強効果があるため，単分子検出などにも期待されていますが […]
DNAハイブリダイゼーションによりセルフアセンブルしたマイクロコンポーネントの付着力測定
次世代のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)実装技術として，一度に複数種類の部品を並行して組み付けるセルフアセンブル技術が注目されています．そこで、我々は特定のターゲットとのみ付着力を発生させ，温度に […]
厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術
従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な３次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として，「移動マスクＵＶ露光法」を提案し，露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して，基礎から応用までの研究を展開しています．移動マス […]
静電容量型3軸加速度センサ
高感度，低ノイズ，耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は，櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサを提案します．その特徴は（1）SOIウェハを用いた単一構造体により一点での正確な3軸加速度の検出 […]
静電容量型超音波トランスデューサ
次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子（cMUT）において，更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます．cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており， […]
３次元UVリソグラフィの応用
繊細な可動部や感応部を持つMEMSデバイスにとって雰囲気制御が可能な封止技術は大変重要なものです．本研究ではガラスフリット材料を使用した気密封止用マイクロ流路を作製することを目的としています．この流路はフォトリソグラフィによって作製されたフ […]
MEMS用気密封止技術
原子時計や磁気センサに代表される小型・高機能の気体封入型MEMSデバイスの信号検出の高感度化，高寿命化には気体封入圧の制御と高い気密性が求めれています．そこで本研究では，Siチップ内にMEMS技術で作製したマイクロ流路を真空引き及びガス導入 […]
