次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子（cMUT）において，更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます．cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており，駆動中はこの電極間に電圧が印加されてメンブレンは静電力により基板側に撓みます．本研究ではメンブレン中心部において均一な撓みを生じさせるために， 一部に補強構造を有するメンブレン構造を提案し，現行と比べて3倍の感度を実現できる構造を考案しました．今後は更なる構造最適化と共にデバイスを試作して本提案の有効性を実証します ．
【研究発表】
[International Conference]
M. Sato, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata, “Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design,” The 23rd Conference EUROSENSORS 2009, Lausanne, Switzerland, Sept. 6-9, 2009, pp. 389-392.