Electromagnetic-driven deformable mirror device
Adaptive optics is a significant device that corrects the wavefront aberrations. This system is composed of deformable m […]
Yearly Archives: 2016
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています．当研究室では，ミラーの凸変形および低電圧駆動を実現 […]
ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として，集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法を開発しています．ひずみゲージの集積化によって測定系を高剛性化することで100 Hz以上の高い繰返し負荷周波数を実現し， […]
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし，高温では延性破壊を起こすことが知られています．本研究では，この脆性 […]
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です．単結晶シリコンは脆性材料であることから，破壊強度はさまざまな要因によって大きく変化することが報告されてます．本研究では […]
2次元配列DNAオリガミの作製
DNAを用いてナノスケール構造体を作製するDNAオリガミは，様々なナノ構造体を修飾したり，DNAオリガミ同士を結合したりすることが可能であるなどの性質をもっています．そこで本研究では，DNAオリガミによって，ナノ構造体を2次元的に規則配列さ […]
DNAナノ構造体のチップ上サイズ分離
本研究では、マイクロ流体デバイスを用いたDNAナノ構造体のサイズ分離システムの構築と、そのデザインプロセスをサポートするシミュレーションプログラムの開発に取り組んでいる 【応 用先】 DNAオリガミの精製プロセス DNAオリガミ重合体のサイ […]
厚膜ネガレジスト用3次元リソグラフィシミュレータ
MEMSの加工技術として厚膜フォトレジストの3次元形状加工が注目されています．本研究では共同研究先であるドイツのフライブルグ大学のFlorianらにより提唱された加工手法に着目し，その手法を用いた際の加工形状について，実験パラメータを入力す […]
X線1分子動態計測用低ノイズマイクロチャンバ
X線1分子動態計測法は、標的蛋白質に標識した金ナノ結晶の運動をナノ結晶からのX線回折点の運動として動画計測し、蛋白質の構造変化を回折点の運動として実時間記録する観測法です。観測には観測光として、広いエネルギースペクトルを持つ放射光白色X線を […]
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．応用デバイスの実用化と信頼性の向上には，実際に応用デバイスで用いられるSiNWと同一の作製プロセスを […]
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed for controlled fracture of a silicon micro-beam, a promising m […]
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し，検証のため10×10個の1軸加速度セ […]
