X線1分子動態計測用低ノイズマイクロチャンバ
X線1分子動態計測法は、標的蛋白質に標識した金ナノ結晶の運動をナノ結晶からのX線回折点の運動として動画計測し、蛋白質の構造変化を回折点の運動として実時間記録する観測法です。観測には観測光として、広いエネルギースペクトルを持つ放射光白色X線を […]
Daily Archives: 2016/04/01
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．応用デバイスの実用化と信頼性の向上には，実際に応用デバイスで用いられるSiNWと同一の作製プロセスを […]
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed for controlled fracture of a silicon micro-beam, a promising m […]
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し，検証のため10×10個の1軸加速度セ […]
