第21回マイクロマシン/MEMS展
7月28日(水)‾30日(金)の3日間,「第21回マイクロマシン/MEMS展」が東京ビックサイトで開催されました.田畑研究室は「11.アカデミックパビリオン B-25で小寺研究室と共同出展しました. 期間中は多くのみなさまにご来場いただき, […]
7月28日(水)‾30日(金)の3日間,「第21回マイクロマシン/MEMS展」が東京ビックサイトで開催されました.田畑研究室は「11.アカデミックパビリオン B-25で小寺研究室と共同出展しました. 期間中は多くのみなさまにご来場いただき, […]
去る7月2日に融合ナノ基盤工学研究部門・第3回若手研究者交流会が桂キャンパスで開催されました. 田畑研からはM1・片岡君が「MEMSを用いたカーボンナノチューブ引張試験」の発表を行い, 融合ナノ基盤工学研究部門での奨励賞を受賞しました. な […]
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン)の2010年7月号に 田畑研の学生が執筆した「国際会議報告(iCAN2009)」が掲載されています. 片岡 達哉, 谷山 彰, 中井 裕介, 西野 聡, 牧野 圭秀 電学論E, Vol. 130, […]
Volker Schultz君(Dresden University of Technology, Germany)が 6月28日から約3カ月間,田畑研に滞在して研究を行います. みなさま,よろしくお願いします.
6月17日~18日に開催された電気学会・平成22年度E部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)で, 田畑研から下記のタイトルで研究発表を行いました. MSS-10-029 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 ◎菅野公二 […]
6月14日~15日にアメリカ・サンタクララで開催されたASME-ISPS2010(http://asme-isps2010.massey.ac.nz/)で, 佐藤研究員が下記のタイトルで研究発表を行いました. Masashi Sato, I […]
本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです.そのためシステム全体を等価な回路で表現し,周辺回路を含めた […]
本研究は微小な磁場計測を行うことを目的とした原子磁気センサの作製プロセスに取り組んでいます.特にアルカリ金属蒸気と不活性ガスが封入された微小キャビティ(セル)を作製する際に,雰囲気制御と高い気密性実現する封止技術に着目しています.具体的には […]
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微細構造に負荷される応力の評価が必要です。単結晶シリコン微細構造に静的な応力が負荷されている場合、顕微ラマン分光によって得 […]
セルフアセンブルとは,MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の高性能化に不可欠な,高密度,高精度の実装を可能にする実装技術として注目されているものです.本研究では,様々なセルフアセンブルプロセスに […]