電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では，電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています．静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです．そのためシステム全体を等価な回路で表現し，周辺回路を含めた […]
Monthly Archives: April 2010
原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止
本研究は微小な磁場計測を行うことを目的とした原子磁気センサの作製プロセスに取り組んでいます．特にアルカリ金属蒸気と不活性ガスが封入された微小キャビティ（セル）を作製する際に，雰囲気制御と高い気密性実現する封止技術に着目しています．具体的には […]
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微細構造に負荷される応力の評価が必要です。単結晶シリコン微細構造に静的な応力が負荷されている場合、顕微ラマン分光によって得 […]
マイクロスケールでのセルフアセンブルプロセスのモデリング
セルフアセンブルとは，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の高性能化に不可欠な，高密度，高精度の実装を可能にする実装技術として注目されているものです．本研究では，様々なセルフアセンブルプロセスに […]
粒子間隔制御可能な金ナノ粒子配列技術
金属ナノ粒子がもつ，Localized Surface Plasmon Resonance（LSPR）と呼ばれる特異な現象を応用し，近年さまざまなデバイス開発が行われている．LSPRは粒子配列を行うことで，光電場の伝搬や大きな電場増強が起こ […]
マイクロ流体デバイスを用いたDNA折り紙の順次的セルフアセンブル
DNAで作製された100nmスケールの薄板（DNA折り紙）は，微小で複雑な構造を作製できる高分子として生体分野での応用が期待されている．本研究ではDNA折り紙を微小機能要素としてMEMS(Micro Electro Mechanical S […]
２液脈動混合の高速化による均一粒径金ナノ粒子の合成
金ナノ粒子は局在表面プラズモンと呼ばれる特性を持つことから表面増強ラマン散乱（SERS）を用いた化学分析などへの応用が期待されています．このような目的には粒径60nmの球状の金ナノ粒子が最適とされているのですが，これらを均一に合成するには合 […]
金属ナノ粒子配列基板を用いた表面増強ラマン分光
金属ナノ粒子は局在表面プラズモン共鳴（LSPR）などの特殊な性質を示す．このLSPRの特性を用いた表面増強ラマン分光（SERS）が知られており、感度や安定性の向上が求められている。本研究では粒子アセンブル技術を用いて、金属ナノ粒子を互いに近 […]
静電容量型超音波トランスデューサにおけるメンブレン構造の最適化
次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子（cMUT）において，更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます．cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており， […]
電気泳動法を利用した平板状ナノ粒子の選択分離
高感度分析として期待される表面増強ラマン散光（SERS）による分光分析において，金ナノ粒子は強い光電場増強効果があることが知られています．中でも三角形平板状粒子の鋭角部分には非常に強い増強効果があるため，単分子検出などにも期待されていますが […]
DNAハイブリダイゼーションによりセルフアセンブルしたマイクロコンポーネントの付着力測定
次世代のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)実装技術として，一度に複数種類の部品を並行して組み付けるセルフアセンブル技術が注目されています．そこで、我々は特定のターゲットとのみ付着力を発生させ，温度に […]
厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術
従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な３次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として，「移動マスクＵＶ露光法」を提案し，露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して，基礎から応用までの研究を展開しています．移動マス […]
