カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C60）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています．我々は特に引張試験に着目し，これまで実現されていない，伸び検出分解能1nm，荷重検出分解能1nNでの高分解能なナノ材料引張試験を目標としています．この目標達成のため，これまでに独自の静電容量型MEMS引張試験デバイスを開発し，当デバイスが目標分解能を備えたものであることを確認しました．一方で，試験片としてポリマー化したフラーレンからなるC60ナノワイヤの架橋構造をデバイス上に設置し，その引張試験を実施しました．【主な研究発表】
- 宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, “電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定”, 日本機械学会2006年度年次大会
- Yasutake Ura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, “Tensile Testing of Fulleerene Nano Wire Using Electrostatic MEMS Device”, IEEE Transducers 2009, Denver
- Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata, “Free-standing C60 nanowire fabricated using XeF2 sacrificial dry etching”, J.Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Jan-Mar 2009/Vol.8