博士論文公聴会

8/10(水）午後1時より夏 园林 (Xia, Yuanlin）君の博士学位論文公聴会を開催いたします。

日時：8/10 (水) 13:00~
場所: C3棟 講義室2 (b1S01)
タイトル:Effect of Amorphous Hydrogenated Carbon Multilayer Coating on Tensile and Torsional Strength of Single Crystal Silicon for Mechanical Reliability Enhancement of MEMS Structures
 MEMS微細構造の機械的信頼性向上のための単結晶シリコンの引張およびねじり強度に及ぼす水素含有非晶質炭素多層膜の影響評価
講演者：夏 园林 (Xia Yuanlin）