霜降君が第11回集積化MEMS技術研究ワークショップで優秀ポスター賞を受賞

1/28にオンラインで開催された応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 の表記ワークショップで当研究室の博士課程学生の霜降君が優秀ポスター賞を受賞しました。おめでとうございます。

MEMSを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップ
霜降真希, 平井義和, 土屋智由 京都大学