周波数領域サーモリフレクタンス

近年の半導体デバイスの微細化に伴い、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象の重要性は増大しているが、ナノ・マイクロスケールでの熱計測の困難さもあり、未解明な点が多く残されている現状がある。そのため、ナノ・マイクロスケール伝熱現象の解明に向けた計測手法の確立が求められている。

　我々は、ナノ・マイクロスケールの試料にも適用可能であり、レーザを用いた非接触で高精度な熱物性計測手法である周波数領域サーモリフレクタンス法 (FDTR法) に基づく熱計測手法の開発に取り組んでいる。試料構造、レーザ照射位置の工夫により、従来は測定が困難であった低熱伝導率試料の測定を実現する手法を提案した。

【論文・学会発表等】

•安倉祐樹, Amit Banerjee, 土屋智由, 廣谷潤, 「トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測手法の高感度化」, 第60回日本伝熱シンポジウム, 2023年5月25日.

•安倉祐樹, Amit Banerjee, 土屋智由, 廣谷潤, 「トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測の測定感度の向上」, 日本機械学会第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2023年11月6日.