ダイヤモンドNEMS共振器デバイスの作成に向けたナノパターニングおよびドライエッチングプロセスの検討

ナノファブリケーション技術は驚異的なペースで進化し、デバイスの微細化、高集積化、高感度化、低消費電力化を可能にしています。ナノエレクトロメカニカルシステム(NEMS)は、半導体基板上のナノスケールの機 ...
超小型人工衛星用イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発

超小型人工衛星に搭載可能な新たなスラスタとしてイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)が注目されている。ILESTでは推進剤としてイオン液体が用いられており、電圧を印加することでエミッタ先端 ...
アルカリ金属ガスセル作製プロセスの開発

原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では,センサの重要な構成要素の一つである,ガスセルの新たな作製方法を研究しています. ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ

超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています.ILESTはイオン液体を推進剤として用い,電圧印加によりイオンを引き出す ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイスの開発

近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chipが,信頼性の高い創薬スクリーニング手法として期待されています。当研究室では,Or ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子

Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...
二段電極型イオン液体ESスラスタ

超小型宇宙機に搭載可能な推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています. ILESTはイオン液体を推進剤として用い,電圧印加によりイオンを引き出すこと ...
アルカリ金属ガスセル

原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では,センサの重要な構成要素の一つである,ガスセルの新たな作製方法を研究しています. ...