mechCRwiki

機械系クリーンルーム mechCR†

このページは、機械系クリーンルームの情報を掲載します．

Introduction 紹介†

• Overview, 概要 -- まだ書いていません
• Doc for walkthrouhgh, 利用ルール -- Take walkthrough, 講習会を受けてください
• News, 最新情報　-- には目をとおすこと
• User meeting materials, ユーザミーティング　-- Check this link for rules. 過去のミーティングで使用したスライドを保存しています．

Application form, 利用申請書†

Japanese ver：桂CR利用申請書_ja.xlsx
English ver：Application_form_for_mechCR_en.xlsx

Machines 装置†

• How to take an operation training to be a user, オペトレの受け方
  
• How to book a machine, 装置予約
• Superusers (trainer), スーパーユーザ

Yellow Room イエロールーム †

• MovingMaskAligner -- 移動マスク露光装置
• [A54] DoubleSideAligner -- 両面露光装置
• LaserExposure -- レーザ直描露光装置
• SingleSideAligner -- 簡易露光装置
• HotPressMachine -- ホットプレス

Clean Room クリーンルーム †

• [A51] ElectronBeamWirter -- 電子ビーム露光装置
• [B52] ICP-RIE -- ICP-RIE
• CompactEtcher -- コンパクトエッチャ
• WaferBonder -- ウエハ接合装置
• RIE -- 汎用RIE
• SputteringSystem -- スパッタ
• ThermalDeposition -- 抵抗加熱蒸着装置
• EBDeposition -- 電子ビーム蒸着装置
• Nanoimprint -- ナノインプリント装置
• Nanoimprint2 -- ナノインプリント装置
• DesktopSEM -- 卓上SEM
• IRInspector -- 赤外透過検査システム

Chemical Treatment Room化学処理室 †

• [B51] ParyleneCoater -- パリレン蒸着装置
• Dicer -- ダイサー
• 3DPrinter -- 3Dプリンタ
• SurfaceProfilometer -- 触針式段差計
• BallWireBonder -- ボールボンダ
• WedgeWireBonder -- ウェッジボンダ
• CriticalPointDryer -- 臨界点乾燥装置
• ThicknessProfilometer -- 光干渉膜厚測定システム

Maintenance メンテナンス†

• 作業日誌

CROperationWG†

• WG委員会議事録

PukiWikiドキュメント†

• ヘルプ -- PukiWikiで編集するには？
• テキスト整形のルール(詳細版)
• プラグインマニュアル