LaserExposure

LaserExposure

mechCRwiki

レーザ直描露光装置†

Heidelberg uPG101

Specification 仕様†

Procedure 利用方法†

Operation Training†

1. Contact Prof. R. Yokokawa to get a permission of usage.
2. After approval from Prof. Yokokawa, get operation training from a super user.
3. After operation training, e-mail to Prof. R. Yokokawa and Ms. K. Kawano.
4. Your e-mail address will be included in the user mailing list.

Reservation†

1. Book the machine through Website.
2. Use the machine.

Super Users†

See SuperUsers Page!

Approved Users†

★Yokokawa lab. 横川研究室
Ryuji Yokokawa, 横川 隆司（教員）
Kazuya fujimoto,藤本 和也（教員）
Yoshikazu Kameda, 亀田 良一（受託研究員）
Yuji Takata，高田 裕司（D3）
Ayumu tabuchi,田渕 史（D3）
Atsuya Kitada,北田 敦也(D1)
KOH WEI LUN DARRYL(D1)

★Tsuchiya lab. 土屋研究室
Toshiyuki Tsuchiya, 土屋 智由（教員）

★Nakabe lab. 中部研究室
Kazuya Tatsumi，巽 和也（教員）
Reiko Kuriyama, 栗山 怜子（教員）

★Hirayama lab. 平山研究室
Naoki Yamashita，山下 直輝（教員）

Machine Administrator†

Ryuji Yokokawa

Photo†