ParyleneCoater

ParyleneCoater

mechCRwiki

[B51] パリレンコーター†

日本パリレン Labcoater PDS-2010
Nano-Platform Machine

Specification 仕様†

蒸着室有効面積	0.032m^3
最大ダイマー	150g
原料ダイマー	DPXC,DPXN
対象ウエハ	4インチ以内

Procedure 利用方法†

Operation Training†

1. Contact Nano-hub to get a permission of usage.

Reservation†

1. Book the machine through Website.
2. Prepare nanohub reservation form and send it to nanohub office through your supervisor (or contacting person).
3. Use the machine.
4. After usage, sign to the confirmation form.

Super Users†

See SuperUsers Page!

Approved Users†

★横川研究室
藤本 和也（教員）

★平井研究室
平井 義和（教員）

★土屋研究室
松永 優希（D2）
山崎 瑠斗（M1）

★ナノプラ
河野 恵子（研究員）

Machine Administrator†

Ryuji Yokokawa

Photo†