OperationTraining

mechCRwiki

装置利用のための手続き

  1. 装置管理者に連絡
    氏名,連絡先,使用目的,実験内容の詳細
     実験内容の詳細(例)
      エッチング装置:基板,被加工材料,マスク,使用ガスなど
      成膜装置:基板,成膜材料など
  2. 管理者の許可
    管理者が使用を許可,オペトレ実施について連絡,管理者本人または指示されたスーパーユーザ
  3. オペトレの日程調整
    スーパーユーザ,管理者と利用者で日程を決める.
  4. オペトレ実施
  5. オペトレ終了後
    管理者,CRスタッフに連絡

注意

  • 管理者の許可なくオペトレを受けてはならない
  • 装置によってはオペトレは実施を許可されたスーパーユーザのみに制限されている.

Procedure to use a machine

  1. Contact Administrator of the machine
    Your name, Purpose of use, and Details of experiments.
    Example of details
     Etching machine: Substrate, material to be etched, mask material, and etching gases.
     Deposition machine: Method, Substrate, Depositing material
  2. Permission from machine admin
    Give a permission for usage. Admin will inform to you and CR staff about a person who will teach the operation of the machine.
  3. Schedule for operation training.
    Decide the date of training
  4. Operation Training
  5. After training: Contact admin and CR staff to inform

Note

  • No operation training without permission from admin.
  • Operation training can be given by only authorized users.