EBDeposition

mechCRwiki

EB蒸着装置†

Yashima Custom made

Specification 仕様†

• up to 4inch Wafer 4インチウエハまで
• 4 source boats (Au, Cr, Ti, Pt, Al, etc.)

Procedure 利用方法†

Operation Training†

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

On Use†

1. Book the machine through Website.
2. Use it!

Super Users†

See SuperUsers Page!

Approved Users†

★土屋研究室
土屋 智由（教員）
廣谷 潤（教員）
Amit Banerjee（教員）
Claude Meffan (PD)
霜降 真希（PD）
Yu Wei(D3)
安倉 祐樹（D1）
井嶋 泰貴（M2）
鈴木 翼（M2）
川口 修大（M2）
高橋 歩夢（M2）
平田 一真（M1）

★江利口研究室
朝本 雄也(D3)
郷矢 崇浩(D3)
両角　潤樹(D2)
服部 達哉(M2)？
岡田 晟良（M2）
加藤 寛大（M2）
辻井 駿佑(M2)
小口 尚輝（M1）

★平山研究室
山下 直輝（教員)

Manual†

• 装置マニュアル EB_Depo_manual200801.pdf
• 膜厚計マニュアル EB_thick_monitor.pdf

Machine Administrator†

Toshiyuki Tsuchiya

Photo†