CompactEtcher

CompactEtcher

mechCRwiki

コンパクトエッチャー†

Samco FA-1

Specification 仕様†

試料サイズ	4インチまで
Etching GAS	CF4 O2
用途		・各種パッシベーション膜の除去
		・フォトレジストのアッシング
		・各種シリコン薄膜のエッチング
		・ガラス基板などの表面クリーニング

Procedure 利用方法†

Operation Training†

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

On Use (for Mechanical Eng. Depts.)†

1. Book the machine through Website. through your supervisor (or contacting person).
2. Use it!

On Use (for Other Depts.)†

Nano-Platform Machine

1. Book the machine through Website.
2. Prepare nanohub reservation form and send it to nanohub office through your supervisor (or contacting person).
3. Use it!
4. After usage, sign to the confirmation form.

SuperUsers†

See SuperUsers Page!

Approved Users†

★中部研究室
巽 和也（教員）
栗山 怜子（教員）
坂野 開(M2)

★土屋研究室
土屋 智由（教員）
廣谷 潤（教員）
Amit Banerjee（教員）
Meffan Claude(PD)
Yu Wei(D3)
松永 優希（D3）
安倉　祐樹（D1）
井嶋 泰貴（M2）
鈴木 翼（M2）
高橋 歩夢（M2）
諸富 裕哉（M2）
山崎 瑠斗（M2）

★平井研究室
犀川 啓太（M2）
山本 真煕（M1）
吉武 百香（M1）

★平山研究室
山下 直輝（教員）

Manual†

Machine Administrator†

Toshiyuk(B4) ~i Tsuchiya

Photo†