CRユーザーに幾つか気をつけていただきたいことがございます。
化学処理室ならびにイエロールームの酸・アルカリ廃液を中和しました。
全量は0になっておりますので、記録簿に記入する際は御注意ください。
This month, Kotera Lab is in charge of the cleaning in the clean room.
いつもお世話になっております。
11月になりました。
クリーンルームの掃除当番は小寺研に代わります。
Supply of several gases (for example Oxygen, Argon, Helium and so on) are in
same line in the Clean room.
I affixed the magnet label in front of each gas bombe.
These label showed equipment name and whether to use or not.
When you use the particular gas put red colored label when finish please
reverse it (white colored).
Please check the label color whether to use or not.
Please end-user close the valve.
Please refer to the attached file.
Supply of oxygen in ICP-RIE(ULVAC),FA1(Samco),10NR(Samco) and WAP-100(Bondtech) is same line.
When you close the valve of oxygen in the cylinder cabinet, please check the operation of other equipments.
Please end-user close the valve.
ICP-RIE コンパクトエッチャー(10NR,FA1) 接合装置(WAP-100)の酸素供給は同一ボンベより行っております。
シリンダーキャビネット内のO2ボンベのバルブを閉める際はこれらの装置が稼動していないか確認した後、最後のユーザーが閉栓するようにしてください。
先日、10NRならびにFA1が同時に稼動中に、FA1で実験を終えられた方が閉栓してしまったという事例が生じたようです。
御協力よろしくお願い致します。
機械系CRのイエロールームで実験される方でドラフトチャンバー内の水の供給はミリQだと勘違いされてデバイスを作製され不純物の付着によりデバイス作製に失敗された方が何人かいらっしゃったそうです。
チャンバー内のコックを開栓して供給される水は水道水です。
超純水(ミリQ)は酸・アルカリ専用のドラフト横のミリポア装置より直接供給してお使いください。
ドラフトチャンバー内にも貼紙をしました。
The water supply of this chamber is tap water in yellow room.
Mill-Q water is necessary for you to device fabrication.
Be careful not to make a mistake!!