MaintenanceDiary

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mechCRwiki

2013-11-19†

Webサーバのエラーログを見ていたら，Googleに所属するIPからの カレンダーへのアクセスがDenyされていました．
多少危険はあるのですが，対応するIPアドレスの範囲に 対してアクセス許可を設定しています．

EB蒸着装置†

膜厚計の調子が悪かった．センサを交換して，OK．ついでにチャンバー掃除

2013-11-15†

ICP-RIEの調整をしました．
エッチングチャンバーのピラニゲージの調子が悪いのかもしれませんが，SF6で圧力をバラトロンで10Paにすると18Pa位になり*1，バルブをクローズしてしまうみたいです．
新コスモス電機の中谷さんの実験の対応で，ピラニゲージのSETPOINT-緑を少し上げてあります22Paくらい．終わったら15Pa位に戻したほうがいいかもしれない．

ICP-RIEの状況†

DRP2が調子が悪い．まともな方法では起動しないです．

1. 手順通りにE CHAMBERを起動
2. エラーが出るので鳴動を止める（DRP2はBEEPを続けている）
3. DRP2のブレーカーをいったんOFFし，0.5秒くらいでふたたびONにする
4. ALARM RESETして E CHAMBER起動でいけるはず．