MovingMaskAligner

MovingMaskAligner

mechCRwiki

移動マスク露光装置†

大日本科研 MUM-0001

Specification 仕様†

露光光源	超高圧水銀灯
主波長		365nm, 405nm, 436nm
		（フィルタにより選択可能）
露光パワー	39mW/cm2（UV-SN35）
露光均一性	±5%
マスクサイズ	□5ｲﾝﾁ
試料サイズ	Φ4ｲﾝﾁ
試料厚		0.5mm
位置決め	手動
三次元加工	移動マスク露光

Procedure 利用方法†

Operation Training†

1. Contact Dr. Hirai (hirai@nms.me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Dr. Hirai and Ms. K. Kawano.

On Use (for Mechanical Eng. Depts.)†

1. Book the machine through Website. through your supervisor (or contacting person).
2. Use it!

On Use (for Other Depts.)†

Nano-Platform Machine

1. Book the machine through Website.
2. Prepare nanohub reservation form and send it to nanohub office through your supervisor (or contacting person).
3. Use it!
4. After usage, sign to the confirmation form.

Approved Users†

★平井研究室
平井 義和（教員）
清瀬 俊(D3)
犀川 啓太（M2）
浅越 雄介（M2）
山本 真煕（M1）
吉武 百香（M1）

Machine Administrator†

Yoshikazu Hirai

Photo†