Fabrication


磁性粒子分散感光性PDMSのリソグラフィ

MEMSに代表される微小なデバイスへの応用が期待される新しい材料に、母材とフィラーの2つの材料を組み合わせたコンポジットマテリアルがあります。これをリソグラフィで微細加工を行うためには母材中に分散しているフィラー濃度が重要なパラメータとなり […]


プロセス最適化シミュレータ

MEMSの加工技術として厚膜フォトレジストの3次元形状加工・グレースケールフィソグラフィが注目されています。しかし設計した通りに3次元形状の高精度作成が難しく、最適な加工パラメータ(例:マスクパタンー、焦点位置、現像時間)の組み合わせを決定 […]


原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止

幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます.提案手法のコンセプトは,セル […]


原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止

本研究は微小な磁場計測を行うことを目的とした原子磁気センサの作製プロセスに取り組んでいます.特にアルカリ金属蒸気と不活性ガスが封入された微小キャビティ(セル)を作製する際に,雰囲気制御と高い気密性実現する封止技術に着目しています.具体的には […]


厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術

従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な3次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として,「移動マスクUV露光法」を提案し,露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して,基礎から応用までの研究を展開しています.移動マス […]


3次元UVリソグラフィの応用

繊細な可動部や感応部を持つMEMSデバイスにとって雰囲気制御が可能な封止技術は大変重要なものです.本研究ではガラスフリット材料を使用した気密封止用マイクロ流路を作製することを目的としています.この流路はフォトリソグラフィによって作製されたフ […]


MEMS用気密封止技術

原子時計や磁気センサに代表される小型・高機能の気体封入型MEMSデバイスの信号検出の高感度化,高寿命化には気体封入圧の制御と高い気密性が求めれています.そこで本研究では,Siチップ内にMEMS技術で作製したマイクロ流路を真空引き及びガス導入 […]


厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術

従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な3次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として,「移動マスクUV露光法」を提案し,露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して,基礎から応用までの研究を展開しています.移動マス […]