単結晶シリコン薄膜の高温引張試験
MEMSの主な構造材料は，シリコン， […]
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として，半 […]
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (A […]
細胞分別マイクロ流体システム
近年，微細加工技術を用いて作製したマ […]
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に […]
振動ジャイロの加速度感度
We investigated th […]
超音波振動によるDNAオリガミのセルフアセンブル収率向上
超音波振動によるDNAオリガミのセル […]
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷 […]
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology pr […]
金ナノロッドの基板上成長を応用したナノギャップ電極の作製
単分子トランジスタなどのナノデバイス […]
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざ […]
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術 […]