架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れ […]
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromech […]
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自 […]
Electromagnetic-driven deformable mirror device
Adaptive optics (A […]
薬物動態試験用マイクロ流体デバイス
創薬プロセスにおける動物試験は，ヒト […]
磁性粒子分散感光性PDMSのリソグラフィ
MEMSに代表される微小なデバイスへ […]
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー
眼底検査の検査光は，眼球の歪みや大気 […]
リンカー構造によるCNTのDNAオリガミ上への固定
DNAオリガミはナノ材料を固定するブ […]
マイクロ流体デバイスを用いたDNAナノ構造体の精製
DNAナノ工学分野において，DNAナ […]
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコ […]
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生 […]
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイス […]