Domestic Conferences

Last Update: March 9, 2020

国内学会：Domestic Conferences (147)

2020

  1. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “有限要素法による経上皮電気抵抗値と測定誤差の電極パターン依存性の解析”, 令和2年電気学会全国大会, 電気学会, 東京(March, 2020), pp.189.

2019

  1. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイスにおける電極形状の検討”, 細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 筑波(January, 2019), pp.29.
  2. 辻勇亮, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “Micro Physiological Systemsへの集積のためのイオン液体型圧力センサ”, 細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 筑波(January, 2019), pp.50.
  3. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “有限要素解析を用いた経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイス内電極形状の設計”, 平成31年電気学会全国大会, 電気学会, 札幌(March, 2019), 3-155.
  4. 山内一慶, 田渕友樹, 平井義和, 岩本真幸, 土屋智由, 清水啓史, 田畑修, “イオンチャネルの開閉機構観察のための高解像度X線一分子動態計測用溶液チャンバの開発”, 化学とマイクロ・ナノシステム学会第39回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 金沢(May, 2019), 2P08.
  5. 土屋智由, 張文磊, 平井義和, 田畑修, “SCREAMプロセスで作製した単結晶シリコンマイクロミラーの共振振動によるねじり強度試験”, 日本実験力学会2019年度年次講演会, 日本実験力学会, 徳島(September, 2019), A302.
  6. 山崎友希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “並列引張試験デバイスを用いた単結晶シリコン疲労試験の繰り返し周波数の向上”, 日本機械学会2019年度年次大会, 日本機械学会, 秋田(September, 2019), J22309P.
  7. 文和彦, 霜降真希，Amit Banerjee, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “SEM中ギャップ間隔制御，電流計測のためのへき開創製ナノギャップデバイス”, 日本機械学会2019年度年次大会, 日本機械学会, 秋田(September, 2019), J22321P.
  8. 辻勇亮, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ”, 第29回マイクロエレクトロニクスシンポジウム, エレクトロニクス実装学会, 吹田(September, 2019), pp.47-50.
  9. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “単結晶シリコンへき開⾯ナノギャップ間の近接場放射熱伝達の測定”, 2019 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会, 応用物理学会, 札幌(September, 2019), 19p-E214-3.
  10. 山内一慶, 田渕友樹, 平井義和, 岩本真幸, 土屋智由, 清水啓史, 田畑修, “シリコン窒化膜を用いたＸ線一分子動態計測用溶液チャンバの開発”, 2019 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会, 応用物理学会, 札幌(September, 2019), 19p-PB9-11.
  11. 木元雄一, 中村克生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “シリコン3次元構造を用いた低温・ウェハレベルのアルカリ金属ガスセル作製法”, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 浜松(Nobember, 2019), 19pm2-T-3.【優秀技術論文賞・受賞論文】
  12. 山下直輝, 朴晟洙, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “犠牲DNAオリガミ技術によって形成した金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光法による分子検出”, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 浜松(Nobember, 2019), 20pm3-PS3-44.
  13. 植田啓太, 萩原健, 平井義和, 近藤純平, 井上正宏, 土屋智由, 亀井謙一郎, 田畑修, “がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発”, 第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 浜松(Nobember, 2019), 19am3-PN3-21.
  14. 霜降真希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “ナノギャップ間熱輸送特性評価のための間隔制御MEMSデバイス”, 第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 浜松(Nobember, 2019), 20pm3-PN3-32.
  15. Jiandong Yang, Yoshikazu Hirai, Ken-ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, “A Microfluidic Gut-Liver on a Chip for Modeling the Non-Alcoholic Fatty Liver Disease”, 化学とマイクロ・ナノシステム学会第40回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 浜松(November, 2019), 3P10.

2018

  1. 辻勇亮, 中野優, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “Body-on-a-Chipへの搭載を目的としたイオン液体型圧力センサ”, 細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 筑波(January, 2018), p.11.
  2. 森保彰, 田渕友樹, 平井義和, 清水啓史, 土屋智由, 田畑修, “感光性基板接合材料を用いたX線1分子動態計測用マイクロ流体デバイスの作製, 平成30年電気学会全国大会, 電気学会, 福岡(March, 2018), 3-139.
  3. 山下直輝, 朴晟洙, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “AFMリソグラフィーで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定, 平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 電気学会, 奈良(July, 2018), BMS-18-035.
  4. 宮崎貴史, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “経上皮電気抵抗測定に用いる銀/塩化銀平面電極搭載マイクロ流体デバイスの作製, 平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 電気学会, 奈良(July, 2018), BMS-18-037.
  5. 木元雄一, 中村克生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “Si製アルカリ金属生成源を用いた小型原子時計用ガスセルプロセスの開発”, 第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム, エレクトロニクス実装学会, 吹田(September, 2018), pp.311-314.
  6. 山崎友希, 安田莞司, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “せん断型ひずみゲージ集積型試験片を用いた単結晶シリコンの並列引張疲労試験”, 日本機械学会2018年度年次大会, 日本機械学会, 吹田(September, 2018), J2230303.
  7. 帯谷和敬, 張文磊, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験”, 日本機械学会2018年度年次大会, 日本機械学会, 吹田(September, 2018), J2230304.
  8. 霜降真希, 森保彰, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定”, 日本機械学会2018年度年次大会, 日本機械学会, 吹田(September, 2018), J2230306.【優秀講演論文表彰・受賞論文】
  9. 佐藤勇気, 八巻侑外, 山田崇恭, 泉井一浩, 西脇眞二, 平井義和, 田畑修, “形状制御のためのアクチュエータの電流値と配置の同時最適化”, 最適化シンポジウム2018, 日本機械学会, 京都(October, 2018), 307.
  10. 呉家旭, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “心臓鼓動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス”, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 札幌(October, 2018), 30pm2-C-2.
  11. 中村友哉, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を用いた静電櫛歯駆動MEMSミラーの振動特性”, 第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 札幌(October, 2018), 31am3-PN-119.
  12. 辻勇亮, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価”, 第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 札幌(October, 2018), 31am3-PN-133.

2017

  1. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修, “抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデルBody on a Chip”, 日本機械学会 第29回バイオエンジニアリング講演会, 日本機械学会, 名古屋(January, 2017), 1A22.
  2. 大牧達矢, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “薬物動態試験おける細胞外電位測定を目的としたPDMS埋め込み型電極アレイ”, 細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 東京(January, 2017), p.39.
  3. 大牧達矢, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “心筋細胞外電位測定のためのPDMS埋め込み型電極アレイ”, 平成29年電気学会全国大会, 電気学会, 富山(March, 2017), 3-119.
  4. 八巻侑外, 佐藤勇気, 山田崇恭, 泉井一浩, 西脇眞二, 平井義和, 田畑修, “可変形状ミラーデバイスにおけるアクチュエータ配置最適化のためのヒューリスティクスの提案”, 2017年度春季大会, 精密工学会, 横浜(March, 2017), J46.
  5. 大牧達矢, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “心筋細胞外電位計測を目指したPDMS埋め込み型電極アレイの作製プロセス”, 化学とマイクロ・ナノシステム学会第35回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 東京(May, 2017), 1P01.
  6. 稲垣達也, 朴晟洙, 山下直輝, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明”, 平成29年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(合同研究会), 電気学会, 姫路(June, 2017), PHS-17-030, CHS-17-021, MSS-17-019, BMS-17-010.
  7. 張文磊, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “プラズマCVDによりDLCを全面被膜した単結晶シリコンマイクロ構造体の引張特性に及ぼす成膜バイアスの影響”, 日本機械学会2017年度年次大会, 日本機械学会, 埼玉(September, 2017), J2210103.
  8. 土屋智由, Banerjee Amit, 平井義和, 田畑修, “単結晶シリコンのへき開で創成したナノギャップの電子放出測定”, 日本実験力学会2017年度年次講演会, 日本実験力学会, 岡山(August, 2017), A108.
  9. 安田莞司, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “単結晶シリコン並列引張試験における集積化せん断型ひずみゲージによる荷重検出”, 日本機械学会2017年度年次大会, 日本機械学会, 埼玉(September, 2017), J2210105.
  10. 土屋智由, Banerjee Amit, 平井義和, 田畑修, “熱駆動SOI-MEMSを用いたへき開破壊によるナノギャップ創製”, 日本機械学会2017年度年次大会, 日本機械学会, 埼玉(September, 2017), J2210205.
  11. 辻勇亮, 中野優, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “微小圧力計測を目的としたPDMS製イオン液体型圧力センサ”, 化学とマイクロ・ナノシステム学会第36回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 群馬(October, 2017), 1P31.
  12. 江間稔起, 宇野亜季子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの変位特性”, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島(October, 2017), 31pm3-PS-26.
  13. 朴晟洙, 馬志鵬, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “Rapid Molecular Sensing Based on On-Chip Size-Separation Process of DNA Origami” , 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島(October, 2017), 01am2-PS-127.
  14. 山下直輝, 朴晟洙, 馬志鵬, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “犠牲DNAオリガミ技術とナノギャップを有する金ナノ粒子二量体作製への応用” , 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島(October, 2017), 02pm1-PS-202.
  15. 馬志鵬, 山下直輝, 朴晟洙, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “Structural Robustness of Different Crossover/Nick Designs of 2D DNA Origami”, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島(October, 2017), 02pm1-PS-203.
  16. 清水啓史, 田渕友樹, 田原樹生, 岩本真幸, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “低X線散乱ノイズ観測チャンバー開発による蛋白質1分子構造変化計測”, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 広島(October, 2017), 02pm1-PS-245.
  17. 辻勇亮, 中野優, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価”, 第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 広島(October, 2017), 01pm4-PN-98.
  18. 張文磊, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “プラズマCVDによりDLC全面成膜したシリコン薄膜の引張強度とばらつきの解析”, 第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 広島(October, 2017), 02pm1-PN-129.
  19. 中村友哉, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を用いた静電櫛歯駆動MEMSミラーの作製”, 第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 広島(October, 2017), 02pm1-PN-133.

2016

  1. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修, “抗がん剤副作用を再現する生体モデルBody on a Chipの開発”, 細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 東京(January, 2016), p.53.
  2. Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Floris van Kempen, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Fred van Keulen, Osamu Tabata, “Multi-Patterning with Numerical Optimization for DMD-Based Three-Dimensional Lithography”, 平成28年電気学会全国大会, 電気学会, 仙台(March, 2016), 3-146.
  3. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修, “抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発”, 日本組織培養学会第89回大会, 日本組織培養学会, 大阪(May, 2016), acceped.
  4. Ma Zhipeng, Huang Yunfei, Park Seongsu, Yamashita Naoki, Yoshikazu Hirai, Tsuchiya Toshiyuki, Yamada Hirofumi, Tabata Osamu, Kawai Kentaro, Kim Do-Nyun, “Structural Characterization of DNA Origami with Different Crossover Arrangement”, 平成28年度電気学会総合研究会, 電気学会, 金沢(July, 2016), PHS-16-020, CHS-16-003, MSS-16-003, BMS-16-023 (APCOT 2016 Joint Session).
  5. 土屋智由, 松井祐樹，平井義和, 田畑修, “サブミクロンギャップ静電容量型MEMS加速度センサアレイの熱機械ノイズ評価”, Dynamics and Design Conference 2015 (D&D2015), 日本機械学会, 宇部(August, 2016), 講演番号520.
  6. 土屋智由, 邊見哲也, 平井義和, 田畑修, “シリコンナノワイヤを一括作製した静電容量型MEMS引張試験デバイス”, 日本実験力学会2016年度年次講演会, 日本実験力学会, 大阪(September, 2016), pp. 163-164.
  7. 安田莞司，上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス”, 日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡(September, 2016), J2210105.
  8. 土屋智由, 松井祐樹，平井義和, 田畑修, “サブミクロンギャップを有する静電容量型センサにおけるプルイン防止設計”, 日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡(September, 2016), J2210106.
  9. 張文磊，上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “サブミクロン厚のプラズマCVD-DLC薄膜で全面被覆されたシリコンマイクロ構造の引張試験”, 日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡(September, 2016), J2210305.
  10. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “(110)シリコンの高温下のすべりと破壊に及ぼす引張軸方位の影響”, 日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡(September, 2016), J2210306.
  11. 中村克生, Florian Larramendy, 平井義和, 土屋智由, Oliver Paul, 田畑修, “厚膜ネガレジスト用三次元リソグラフィシミュレータの開発”, 日本機械学会2016年度年次大会, 日本機械学会, 福岡(September, 2016), G2200103.
  12. 寺島健太, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発”, 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 平戸(October, 2016), 24pm2-B-5.【最優秀技術論文賞・受賞論文】

2015

  1. 加藤義基, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “灌流システムを搭載した副作用検査デバイス ～ヒトES/iPS由来のBody on a chipを目指して～”, 細胞アッセイ技術の現状と将来, 細胞アッセイ研究会, 東京(January, 2015), p.12.
  2. 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, 梅田章, “MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測”, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 応用物理学会, 平塚(March, 2015), 12p-D15-4.
  3. 森裕都, 馬志鵬, 朴晟洙, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成”, 平成27年電気学会全国大会, 電気学会, 東京(March, 2015), 3-095.
  4. 田原樹生, 平井義和, 清水啓史, 土屋智由, 田畑修, “3次元微細加工技術を応用したＸ線１分子動態計測用低ノイズマイクロチャンバの開発”, 平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 福岡(July, 2015), BMS-15-36.
  5. 馬志鵬, 朴晟洙, 山下直輝, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “Determining the Annealing Factors for the Self-Assembly of DNA Origami and its Polymerization”, 平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(合同研究会), 電気学会, 福岡(July, 2015), PHS-15-24, CHS-15-37, MSS-15-9, BMS-15-30.
  6. 朴晟洙, 馬志鵬, 山下直輝, 川合健太郎, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “Browinian Dynamics Simulation for Electrophorectic Migration of DNA Nanostructures in a Aanochannel”, 平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(合同研究会), 電気学会, 福岡(July, 2015), PHS-15-25, CHS-15-38, MSS-15-10, BMS-15-31.
  7. 宇野亜季子, Vijay Kumar Singh, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの数理解析モデルの構築”, 平成27年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 福岡(July, 2015), MSS-15-24.
  8. 土屋智由, 中野篤，平井義和, 田畑修, 梅田章, “1軸加振器を用いたMEMS3 軸加速度センサの感度マトリックス測定”, Dynamics and Design Conference 2015 (D&D2015), 日本機械学会, 弘前(August, 2015), 731.
  9. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験”, 日本機械学会2015年度年次大会, 日本機械学会, 札幌(September, 2015), J2210404.
  10. 土屋智由, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, “静電駆動MEMS 光チョッパを用いた時間分解顕微ラマン応力測定”, 日本機械学会2015年度年次大会, 日本機械学会, 札幌(September, 2015), J2210406.
  11. 松井祐樹, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “サブミクロンギャップを有するSOI静電容量型加速度センサアレイ”, 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 新潟(October, 2015), 29pm3-PS-059.
  12. 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 寺尾亮, 水谷夏彦, 小林哲生, 田畑修, “原子磁気センサのセル作製のためのアルカリ金属ソースタブレット” , 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 新潟(October, 2015), 30am2-PS-078.
  13. 加藤義基, 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由, 田畑修, “3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発”, 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 新潟(October, 2015), 30pm1-A-2.【五十嵐賞・受賞論文】
  14. 邊見哲也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “熱酸化により直径制御した架橋構造シリコンナノワイヤのSOI-MEMS集積化”, 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 新潟(October, 2015), 29pm1-F-2.
  15. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “(110)単結晶シリコンマイクロ構造の高温引張破壊特性”, 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 新潟(October, 2015), 29pm3-PN-049.
  16. 土屋智由, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, “顕微ラマン分光による単結晶シリコンマイクロ構造の動的応力測定”, M&M2015材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 横浜(Nobember, 2015), OS1418-467.
  17. 亀井謙一郎, 平井義和, 加藤義基, 土屋智由, 田畑修, “抗がん剤副作用を生体外で再現するBody on a Chipの開発”, 化学とマイクロ・ナノシステム学会第32回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 北九州(Nobember, 2015), 2P31.

2014

  1. 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修, “蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診”, 第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 山形(March, 2014), p.84.
  2. 平井義和, 高木大介, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修, “5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム”, 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 東京(June, 2014), pp.85-90.
  3. 土屋智由, Mohamed E. Mitwally, 平井義和, 田畑修, Sherif Sedky, “エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上”, 日本機械学会 M&M2014材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 福島(July, 2014), OS1513.
  4. 土屋智由, 中野篤, 平井義和, 田畑修, “3軸加速度センサの並列校正手法の検討”, Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 東京(August, 2014), 528.
  5. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験”, 日本実験力学会2014年度年次講演会, 日本実験力学会, 姫路(August, 2014), B205.
  6. 土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修, “多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験”, 日本機械学会2014年度年次大会, 日本機械学会, 東京(September, 2014), J2240106.
  7. 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ”, 日本機械学会2014年度年次大会, 日本機械学会, 東京(September, 2014), J2240206.
  8. 上杉晃生, 安富貴浩, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験”, 日本機械学会2014年度年次大会, 日本機械学会, 東京(September, 2014), J2240303.
  9. 平井義和, 田畑修, 清水啓史, “X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発”, 化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会,札幌(October, 2014), 2P22.
  10. Xiaoxu Ma, Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, “An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System”, 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 松江(October, 2014), 20pm3-PS023.
  11. 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移”, 第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 松江(October, 2014), 20pm3-PM005.
  12. 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性”, 第6回「集積化MEMSシンポジウム」, 応用物理学会, 松江(October, 2014), 20pm1-C1.
  13. Zhipeng Ma, Seongsu Park, Yuto Mori, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, “Revealing the Radial Elastic Modulus of Multi-Layered DNA Origami by AFM Nanoindentation”, 第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 京都(October, 2014), 722.

2013

  1. 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製”, 平成25年電気学会全国大会, 電気学会, 名古屋(March, 2013), pp.191-192(第３分冊).
  2. 加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ”, 平成25年電気学会全国大会, 電気学会, 名古屋(March, 2013), pp.193-194(第３分冊).
  3. 谷山彰, 小北雄亮, 平井義和, 田畑修, 土屋智由, 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性”, 日本実験力学会, 2013年度年次講演会, 由利本荘(August, 201), pp.129-131.
  4. 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価”, Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 福岡(August, 2013), 549.
  5. 上杉晃生，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修, “(100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性”, 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 岡山(September, 2013), J211013.
  6. 鈴木淳也，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修, “多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工”, 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 岡山(September, 2013), J211017.
  7. 外薗洸佑，鈴木淳也，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修, “ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル”, 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 岡山(September, 2013), J211024.
  8. 藩和宏, 辻本和也, 平井義和, 水谷夏彦, 田畑修, “微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応”, 化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, 岡山(September, 2013), T114.
  9. 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 藩和宏, 水谷夏彦, 田畑修, “Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法”, 2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, 福岡(September, 2013), pp.S28-S29(基礎・境界ソサイエティ).
  10. 小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 田畑修, 土屋智由 “時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ”, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台(November, 2013), 5PM3-PSS-013.
  11. 成瀬圭介, 柳生裕聖, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析”, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台(November, 2013), 5PM3-PSS-117.
  12. 辻本和也, 藩和宏, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 水谷夏彦, 田畑修, “原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価”, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台(November, 2013), 6AM2-A-4.
  13. 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修 “静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度”, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 仙台(November, 2013), 6PM3-PSS-058.
  14. 高木大介, 平井義和, 穴井智, 千原良友, 土屋智由, 藤本清秀, 平尾佳彦, 田畑修, “蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム”, 化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 姫路(December, 2013), 3P01.

2012

  1. 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析”, 第59回応用物理学関係連合講演会，応用物理学会, 東京(March, 2012).
  2. 西野聡, 菅野公二, 武中能子, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 “金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製”, 平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)，電気学会, 京都(July, 2012), pp.29-32.
  3. 片山拓, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 “高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析”, 平成24年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)，電気学会, 京都(July, 2012), pp.33-38.
  4. 上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “加工条件の異なる(110)単結晶シリコン薄膜の引張試験”, 日本機械学会 M&M2012材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 愛媛(September, 2012), OS1909.
  5. 中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価”, Dynamics and Design Conference 2012(D&D2012), 日本機械学会, 横浜(September, 2012), 702.
  6. 平井義和, 柳生裕聖, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析”, 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 北九州(October, 2012), pp.371-374.
  7. 鈴木淳也, 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験機における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定”, 第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会, 北九州(October, 2012), OS7-3-5.

2011

  1. 吉宗秀晃，中田哲博，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修, “高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成”, 平成23年電気学会全国大会, 電気学会, 大阪(March, 2011), pp.186-187.
  2. 北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析”, 平成23年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京(July, 2011), pp.31-36.
  3. 菅野公二, 吉宗秀晃, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いたナノ粒子の合成”, 平成23年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京(July, 2011), pp.73-78.
  4. 菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル”, 平成23年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京(July, 2011), pp.83-86.
  5. 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用”, 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会, 京都(July, 2011).
  6. 西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和, “ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長”, 第63回コロイドおよび界面化学討論会, 日本化学会, 京都(September, 2011), accepted.
  7. 上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性”, 日本機械学会2011年度年次大会, 日本機械学会, 東京(September, 2011), J161021.
  8. 亀井謙一郎, 平井義和, 牧野圭秀, Li Liu, Qinghua Yuan, Yong Chen, 田畑修, “フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価”, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京(September, 2011), pp.89-92.
  9. 片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング”, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京(September, 2011), pp.107-110.
  10. 平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル”, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京(September, 2011), pp.334-339.
  11. 平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術”, 電子回路研究会（圧電デバイス・材料）, 電気学会, 京都(November, 2011), pp.7-11.

2010

  1. 菅野公二，中田哲博，平井義和，土屋智由，田畑修, “３方向からの交互脈動送液による高速２液混合”, 平成22年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京(June, 2010), pp.139-144.
  2. 脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 土屋智由, 池原毅, “(110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価”, 日本機械学会2010年度年次大会, 日本機械学会, 名古屋(September, 2010),講演論文集 Vol.8 pp.243-244.
  3. 谷山彰, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由, “顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析”, 日本機械学会2010年度年次大会, 日本機械学会, 名古屋(September, 2010),講演論文集 Vol.8 pp.255-256.
  4. 辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術”, 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 松江(October, 2010), pp.656-661.
  5. 徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析”, 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 松江(October, 2010), pp.141-142.
  6. 脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 土屋智由, 池原毅, “(110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析”, 第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 松江(October, 2010), pp.149-150.

2009

  1. 菅野公二, 内田雄喜, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, “混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ”, 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京(June, 2009), pp.7-12.
  2. 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法”, 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京(October, 2009), pp.533-538.

2008

  1. 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの３次元微細加工技術”, 平成20年電気学会全国大会, 電気学会, 福岡(March, 2008), pp.138-139(第３分冊).
  2. 柏井茂達, 田上周路, 市原直, 石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生, “光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測Ⅰ－磁気光学回転角の基礎的検討－”, 第55回応用物理学関係連合講演会, 応用物理学会, 船橋(March, 2008), 30a-ZV-1.
  3. 田上周路, 市原直, 柏井茂達, 石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生, “光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測Ⅱ－マグネトメータ型での計測－”, 第55回応用物理学関係連合講演会, 応用物理学会, 船橋(March, 2008), 30a-ZV-2.
  4. 市原直, 田上周路, 柏井茂達, 石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生, “光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測Ⅲ－グラディオメータ型での計測－”, 第55回応用物理学関係連合講演会, 応用物理学会, 船橋(March, 2008), pp.30a-ZV-3.
  5. 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と３次元加工への応用”, 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 仙台(June, 2008), pp.1-6.
  6. 杉原靖幸, 田上周路, 市原直,石川潔, 杉岡秀行, 水谷夏彦, 平井義和, 田畑修, 小林哲生, “生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測”, 生体医工学シンポジウム2008（BMES2008）, 日本生体医工学会, 豊中(September, 2008), 2-08-04.
  7. 平井義和, 稲本好輝, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “厚膜ネガレジスト特性を応用した移動マスクＵＶ露光による三次元加工”, 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 沖縄(October, 2008), pp.15-20.

2007

  1. 稲本好輝，平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “移動マスクＵＶ露光法による埋め込み型流路の作製”, 平成19年電気学会全国大会, 電気学会, 富山(March, 2007), pp.181-182(第３分冊).
  2. 平井義和, 稲本好輝, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “Fast Marching Methodを適用した移動マスクＵＶ露光用加工形状シミュレーション技術”, 平成19年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 筑波(July, 2007), pp.19-24.
  3. 平井義和, 稲本好輝, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “移動マスクＵＶ露光法によるポジ型厚膜レジストの３次元加工と形状シミュレーション技術”, 日本機械学会2007年度年次大会, 日本機械学会, 吹田(September, 2007), 講演論文集Vol.7, pp.303-304.
  4. 柏井茂達, 田上周路, 石川潔, 市原直, 杉岡秀行, 平井義和, 田畑修, 小林哲生, “光ポンピング磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討”, 平成19年度電気学会マグネティックス部門研究会, 電気学会, 函館(October, 2007), MAG-07-105, pp.19-24.

2006

  1. 平井義和, 稲本好輝, 松井利一, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, “移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術”, 第23回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 高松(October, 2006), LN-01.

2005

  1. 平井義和, 松塚直樹, 田畑修, “Ｘ線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証”, IIP2005 情報・知能・精密機器部門, 日本機械学会, 東京(March, 2005), pp.207-210.
  2. 松塚直樹, 平井義和, 田畑修, “Ｘ線二重露光法による３次元微細加工技術の研究”, 第22回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京(October, 2005), pp.297-302.
  3. 井戸田芳典, 大久保陽一郎, 河村清美，田畑修, 平井義和, “微細噴孔ノズルの微粒化過程の解明－移動Ｘ線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察－”, 第14回微粒化シンポジウム, 日本液体微粒化学会, 八戸(November, 2005), pp.211-216.

2004

  1. 松塚直樹, 平井義和, 田畑修, “二重露光Ｘ線リソグラフィによる三次元微細加工技術”, 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 京都(October, 2004), pp.191-194.

2003

  1. 平井義和, 松塚直樹, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, 田畑修, “移動マスクＸ線リソグラフィーにおけるX3Ｄの有用性”, 第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 東京(July, 2003), pp.391-396.

2002

  1. 平井義和, Sadik Hafizovic, Jan G. Korvink, 田畑修, “Ｘ線応用３次元加工用シミュレーションシステムの開発”, 平成14年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 東京(November, 2002), pp.65-70.

国内招待講演 (1)

2014

  1. 平井義和, “3Dリソグラフィを応用した膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム”, 第2回材料・製造フォーラム「バイオセンサ・バイオチップ分科会」講演会, 産業技術総合研究所, 池田(November, 2014).