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Nano/Micro System Laboratory

Department of Micro Engineering, Kyoto University

京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

ナノシステム創成工学講座 ナノ・マイクロシステム工学分野

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研究トピックス

X線一分子動態計測用観測チャンバの開発

X線一分子動態計測法は,標的イオンチ […]


振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価

MEMSミラーデバイスは主にSOIウ […]


せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス

単結晶シリコンマイクロ構造について多 […]


DNAオリガミ技術によって形成した金ナノ粒子二量体による分子検出

表面増強ラマン分光法(SERS)で必 […]



Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for ...

A geometrical comp […]


熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価

【応用先】 熱電子発電は高温のエミッ […]


創薬スクリーニングへの応用を目指したマイクロ流体デバイスの開発

近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由 […]


イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発

重量数10kg以下級の超小型人工衛星 […]



シリコン三次元構造を応用したMEMS原子時計用アルカリ金属ガスセルの開発

小型原子時計CSAC(Chip Sc […]


DNAオリガミモールドを用いた金ナノ粒子二量体の形状制御

DNAオリガミ技術によって作製したナ […]


誘電泳動を用いたDNAオリガミ分離マイクロ流体デバイス

DNAオリガミ技術は溶液中での自己組 […]


熱電子発電のためのナノギャップデバイス

真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔 […]



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京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻
ナノシステム創成工学講座 ナノ・マイクロシステム工学分野
〒615-8540 京都府京都市西京区京都大学桂C3
TEL:075-383-3693 / FAX:075-383-3738 / E-mail

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