MEMS fabricated nanogap electrodes
We have developed […]
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多 […]
シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの […]
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラー […]
顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
真空ナノギャップ電極は通常の物質では […]
DNAオリガミモールドを用いた金ナノ粒子二量体の形状制御
DNAオリガミ技術によって作製したナ […]
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の際に発生する光学収差（光の […]
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling applications
We developed a mic […]
せん断型ひずみゲージ集積単結晶Si並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多 […]