土屋准教授が第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（10月30日～11月1日）のフォトコンテストで，最優秀賞を受賞しました．
【受賞作品名】カッパドキア
土屋智由（京都大学），中川洋人，鷹尾祥典（横浜国立大学）
【概要】超小型衛星用エレクトロスプレースラスタ用のSi製エミッタとしてSF6の等方性エッチング→ボッシュプロセスで高さ200umの鉛筆形電極アレイを作製しています．エッチング直後，厚膜レジストが帽子のように残りあたかもカッパドキアの風景のようになりました．
土屋准教授が第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（10月30日～11月1日）のフォトコンテストで，最優秀賞を受賞しました．
【受賞作品名】カッパドキア
土屋智由（京都大学），中川洋人，鷹尾祥典（横浜国立大学）
【概要】超小型衛星用エレクトロスプレースラスタ用のSi製エミッタとしてSF6の等方性エッチング→ボッシュプロセスで高さ200umの鉛筆形電極アレイを作製しています．エッチング直後，厚膜レジストが帽子のように残りあたかもカッパドキアの風景のようになりました．