９月３日（日）～６日（水）に埼玉大学にて，日本機械学会 2017年度年次大会（学会HP）が開催されます．田畑研からは以下の3件の発表を行います．
【マイクロ・ナノ機械の信頼性】
J2210103
プラズマCVD によりDLC を全面被膜した単結晶シリコンマイクロ構造体の引張特性に及ぼす成膜バイアスの影響
〇張 文磊, 上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修
J2210105
単結晶シリコン並列引張試験における集積化せん断型ひずみゲージによる荷重検出
〇安田 莞司, 上杉 晃生, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修
J2210205
熱駆動SOI-MEMS を用いたへき開破壊によるナノギャップ創製
〇土屋 智由, Banerjee Amit, 平井 義和, 田畑 修