第２７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが１０月１４日~１５日に，くにびきメッセ（島根県松江市）にて開催されました．また日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催「第２回マイクロ・ナノ工学シンポジウム」も同会場で開催されました．田畑研からは菅野，平井，佐藤，辻本，徳崎，脇田が参加し，以下の４件を発表しました．
【第２７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム】
最先端MEMS実装技術I
- チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
◎辻本和也，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修
【第２回マイクロ・ナノ工学シンポジウム】
電気等価回路から考えるMEMS設計手法
- 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析
◎徳崎裕幸，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修
単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明
- (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析
◎脇田拓，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修，池原毅
情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー
- 高密度圧電MEMS可変ミラーの開発
◎佐藤政司，神野伊策，小寺秀俊