フォノニック結晶導波路を用いたLoveモード表面弾性波デバイスの解析

表面弾性波（SAW）デバイスは高周波信号処理に広く用いられている。しかし、次世代アプリケーションの開発では、従来のSAWデバイスの損失が困難となっており、低損失デバイスの必要性が高まっている。そこで、本研究では、Loveモード伝播とフォノニック結晶（PnC）導波路を利用したSAWフィルタを検討する。PnC導波路は、圧電基板上の薄いガイド層内にパターニングされたPnCから構成され、バンドギャップの生成によりSAWを閉じ込めることができると考える。Love波は、エネルギーを表面に集中させ、バルクへの損失を減少させると推定する。デバイスの設計・最適化のための数値解析を行い、周波数特性と主要な設計パラメータとの関係を調べた。