土屋 智由

(つちや としゆき) Toshiyuki TSUCHIYA

■連絡先

〒615-8540 京都市西京区京都大学桂C3棟 c2S14
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
TEL: +81-75-383-3690 / FAX: +81-75-383-3738
tutti@me.kyoto-u.ac.jp

■略歴

1968年8月生まれ
1987年3月 私立栄光学園高等学校(神奈川県)卒業
1987年4月 東京大学理科I類入学
1991年3月 同工学部精密機械工学科卒業
卒業論文 “微小力センサ開発のためのシリコンの微細加工に関する研究"
1991年4月 東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻 博士前期課程入学
1993年3月 同修了 修士論文 “PZT薄膜のゾルゲル法による作製とその応用”
1993年4月 株式会社豊田中央研究所 入社
———以下、在職中———
1999年4月 名古屋大学大学院工学研究科マイクロシステム工学専攻 博士後期課程入学
2002年3月 同修了 名古屋大学 博士(工学)取得
博士論文 “Tensile Testing of Thin Films using Electrostatic Force Grip
——————————
2004年3月 京都大学大学院工学研究科機械工学専攻 助教授
2005年4月   同 マイクロエンジニアリング専攻 助教授
2007年4月        同           准教授
2011年4月-2015年3月 東京工業大学精密工学研究所セキュアデバイス研究センター客員准教授
2019年9月 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 教授

■受賞

  • 1998 R&D100 Award by R&D Magazine “Thin Film Tensile Tester"
  • 2000 電気学会 論文発表賞
  • 2008 経済産業省工業標準化事業表彰 産業技術環境局長表彰 国際標準化奨励者 受賞
  • 2012 IEC 1906 Award

■所属学会

■学会等の委員職歴

  • Journal of Micromechanics and Microengineering
    • Editorial Board Member (2011-16)
  • Micro & Nano Letters
    • Editorial Board Member (2013-)
  • IEEE International Conference on Microelectromechanical Systems (MEMS)
    • General Co-chair in 2013
    • International Steering Committee Member (2011-16)
    • Technical Program Committee Member (2004, 2010-14)
  • IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
    • Technical Program Committee Member (2010)
  • International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Technical Program Committee Vice Chair (2015, 2017)
      Technical Program Committee Chair (2016)
  • 電気学会センサ・マイクロマシン部門(E部門)
    • 役員会委員(平成14, 15, 19年度)
    • 役員会編修担当(平成20, 21年度)
    • 編修委員会委員(平成16~19, 22年度)
    • 編修委員会副委員長(平成20, 21年度)
  • 電気学会論文委員会
    • Eグループ幹事(平成17年度)
    • Eグループ副主査(平成18年度)
    • Eグループ主査(平成19年度)
  • 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 実行委員(平成19~21年)
    • 論文委員(平成14年~)
    • 論文委員会副委員長(平成19, 20年)
    • 論文委員会委員長(平成21年)
  • 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
    • 委員(2007~2011年度:専門会議, 2013~2014年度)
    • 部門幹事(2015,16年度)
  • 電子情報通信学会
    • Electronics Express (ELEX)  編集委員 (平成20~22年度)

■主な研究業績(発表論文)

  • 薄膜材料信頼性関係
    • T. Tsuchiya, O. Tabata, J. Sakata, and Y. Taga,
      “Specimen size effect on tensile strength of surface-micromachined polycrystalline silicon thin films,"
      Journal of Microelectromechanical Systems Vol. 7, No. 1, 106-113 (1998).
      Abstract
    • T. Tsuchiya, A. Inoue, and J. Sakata,
      “Tensile testing of insulating thin films; Humidity effect on tensile strength of SiO2 films,"
      Sensors and Actuators A; Physical Vol. A82, No.1-3, 286-290 (2000)
      Abstract
    • T. Tsuchiya, M. Hirata, N. Chiba, R. Udo, Y. Yoshitomi, T. Ando, K. Sato, K. Takashima, Y. Higo, Y. Saotome, H. Ogawa, and K. Ozaki,
      “Cross comparison of thin film tensile-testing methods examined with single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films,"
      Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 14. No. 5, pp. 1178-1186 (2005).
      Abstract
  • 静電型MEMSデバイス
    • T. Tsuchiya,Y. Kageyama, H. Funabashi, and J. Sakata,
      “Polysilicon Vibrating Gyroscope Vacuum-Encapsulated in an On-Chip Micro Chamber,"
      Sensors and Actuators A: Physical Vol. A90, No. 1-2, 49-55 (2001).
      Abstract
    • T. Tsuchiya and H. Funabashi,
      “A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes,"
      Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 116, No. 3, 378-383 (2004).
      Abstract

■主な研究業績(特許:特許情報プラットフォームへ

  • 京都大学
    • Coming soon….
  • 豊田中研
    • 特許3319257号 土屋智由, 田畑修 “薄膜引張試験方法および装置"
    • 特許3360683号 土屋智由, “薄膜引張試験装置"
    • 特開2003-337138 土屋智由, 船橋博文, 藤塚徳夫, 光嶋康一, 酒井峰一, “可動電極を有する装置、可動ミラー装置、振動型ジャイロスコープ及びこれらの製造方法"

■プロジェクトのページ

2015年2月28日