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シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます.本研究では時間分解顕微ラマ ...
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system i ...
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