Daily Archives: 2019/06/10


振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価

MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります.本研究では,2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し,初期強度や疲労寿命を測定することで,ミラ […]


せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス

単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では,荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,試作し高い負荷周波数での疲労試 […]


イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発

重量数10kg以下級の超小型人工衛星に搭載するスラスタの開発を行っています.針状のエミッタに高電圧を印加することで,イオン液体からイオンを引き出し,加速させて推力を得る推進システムです.推力向上のためには,微細加工技術を用いてエミッタを高密 […]


熱電子発電のためのナノギャップデバイス

真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により,真空ナノギャップが小型で高効率の熱発電デバイスとして期待されている.大面積かつ平行平滑面を有するナノギャップを作製する手 […]