3月20日~22日の３日間，電気学会全国大会が名古屋大学で開催され，田畑研究室から以下の２件を発表しました．
【3-132】 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製
◎北村彰男・平井義和・菅野公二・土屋智由・田畑 修
【3-133】 グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ
◎加藤義基・平井義和・Floris Kempen・Fred Keulen・菅野公二・土屋智由・田畑修
● リンク（電気学会）
平成25年電気学会全国大会
3月20日~22日の３日間，電気学会全国大会が名古屋大学で開催され，田畑研究室から以下の２件を発表しました．
【3-132】 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製
◎北村彰男・平井義和・菅野公二・土屋智由・田畑 修
【3-133】 グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ
◎加藤義基・平井義和・Floris Kempen・Fred Keulen・菅野公二・土屋智由・田畑修
● リンク（電気学会）
平成25年電気学会全国大会