電気学会全国大会

This entry was posted in News Presentation on

電気学会全国大会 （2008年3月19~21日　福岡工業大学） において，2件の発表を行います

  • 3-096 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術
  • 3-137 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOIジャイロスコープ

詳細はこちら