Monthly Archives: October 2014

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集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験

This entry was posted in Micromaterial Research and tagged Si ナノワイヤ on 2014年10月1日

Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ，これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．これらのデバイスの実現と信頼性の向上のため，MEMS構造体への一括集積化技術とその機械特性評価をおこなっています． 【応 […]

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振動ジャイロの加速度感度

This entry was posted in Research Sensors and tagged 振動ジャイロ on 2014年10月1日

We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by using in-plane and o […]

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