Daily Archives: 2018/06/06


せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス

単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では,荷重センサとして高剛性なせん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,試作し高い負荷周波数での疲労試 […]


シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化

ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり,高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及び […]


単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験

ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは,ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです.プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており,ねじり梁の信頼性の把握が求められています.本研 […]