Monthly Archives: 7 2009


第20回マイクロマシン/MEMS展

7月29日(水)より3日間,東京ビッグサイトにて開催された「第20回マイクロマシン/MEMS展」に出展しました. 開催期間中は連日,多くの皆様にブースへご来場いただき,大変ありがとうございました. 田畑研究室の展示ポスターに関する詳細は, […]


静電容量型3軸加速度センサ

高感度,低ノイズ,耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は,櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサを提案します.その特徴は(1)SOIウェハを用いた単一構造体により一点での正確な3軸加速度の検出 […]


静電容量型超音波トランスデューサ

次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子(cMUT)において,更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます.cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており, […]


3次元UVリソグラフィの応用

繊細な可動部や感応部を持つMEMSデバイスにとって雰囲気制御が可能な封止技術は大変重要なものです.本研究ではガラスフリット材料を使用した気密封止用マイクロ流路を作製することを目的としています.この流路はフォトリソグラフィによって作製されたフ […]


MEMS用気密封止技術

原子時計や磁気センサに代表される小型・高機能の気体封入型MEMSデバイスの信号検出の高感度化,高寿命化には気体封入圧の制御と高い気密性が求めれています.そこで本研究では,Siチップ内にMEMS技術で作製したマイクロ流路を真空引き及びガス導入 […]


金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ

金ナノ粒子はバルク材とは異なる特性を有しているため,ナノテクノロジーにおいて様々な応用が期待されます.本研究では,生成過程での化学的反応条件によって粒子径・均一性が大きく依存する金ナノ粒子の生成メカニズムを解明するために,混合速度・反応温度 […]