Tensile testing of silicon covered with DLC film
DLC (Diamond Like […]
シリコン基板上へのDNAオリガミ固定
金属ナノ粒子やカーボンナノチューブな […]
Electromagnetic-driven deformable mirror device
Adaptive optics is […]
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により […]
ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労 […]
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイス […]
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材 […]
2次元配列DNAオリガミの作製
DNAを用いてナノスケール構造体を作 […]
DNAナノ構造体のチップ上サイズ分離
本研究では、マイクロ流体デバイスを用 […]
厚膜ネガレジスト用3次元リソグラフィシミュレータ
MEMSの加工技術として厚膜フォトレ […]
X線1分子動態計測用低ノイズマイクロチャンバ
X線1分子動態計測法は、標的蛋白質に […]