セルフアセンブルとは，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の高性能化に不可欠な，高密度，高精度の実装を可能にする実装技術として注目されているものです．本研究では，様々なセルフアセンブルプロセスにおいて，そのアセンブル効率をさらに向上させるために，最適なプロセスパラメータの予測が可能な汎用性のあるモデルを構築しています．ミリメータ及びマイクロメータスケールでアセンブルを行う実験系を作製し，それらに対応するモデルを構築，実験結果とモデルの解析結果を比較することで，モデルの有用性の評価を行っています．
【研究発表】
- T. Tanemura, et. al., Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer, The 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Solent, Italy, Jan. 25-29, 2009, pp. 184-187