平成28年度工学研究科長賞を受賞しました
修士1回生の4名（安田・田渕・中村・森）が，平成28年度工学研究科長賞を受賞し，その表彰式が3月21日に開催されました．表彰業績は，第7回国際ナノ・マイクロアプリケーションコンテスト(iCAN’16)の国内大会【1位】／ 国際大会【特別賞】 […]
Daily Archives: 2017/03/21
低温熱電子発電のためのシリコンナノギャップ電気伝導特性測定評価
半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一でかつ原子レベルで平滑なナノギャップ構造を作製する技術を確立，電気伝導特性を測定してナノギャップ間の電子放出を確認した． […]
