電気学会センサ・マイクロマシン部門（E部門）の部門大会である第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが10月28日（水）〜30日（金），新潟市にて開催されます（http://www.sensorsymposium.org/index_j.html）．また同会場で日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」も同時開催です．田畑研究室からは各シンポジウムで共著論文を含めて以下の６件の発表を行います．
- 29pm2-B-1
マイクロスケールシリコンの結晶方位に依存した疲労破壊と応力解析
池原 毅，土屋 智由 - 29pm3-PS-059
サブミクロンギャップを有するSOI 静電容量型加速度センサアレイ
松井 祐樹，平井 義和，土屋 智由，田畑 修 - 30am2-PS-078
原子磁気センサのセル作製のためのアルカリ金属ソースタブレット
藩 和宏，辻本 和也，平井 義和，寺尾 亮，水谷 夏彦，小林 哲生，田畑 修 - 30pm1-A-2
3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発
加藤 義基，平井 義和，亀井 謙一郎，土屋 智由，田畑 修 - 29pm1-F-2
熱酸化により直径制御した架橋構造シリコンナノワイヤのSOI－MEMS集積化
邊見 哲也，平井 義和，土屋 智由，田畑 修 - 29pm3-PN-049
（110）単結晶シリコンマイクロ構造の高温引張破壊特性
上杉 晃生，平井 義和，土屋 智由，田畑 修