機械学会年次大会（https://www.jsme.or.jp/conference/nenji2015/index.html）が9月13日（日）～16日（水）の間，北海道大学で開催されます．
田畑研究室から共著発表を含めて以下の３件の発表を行います．
[J221-03] マイクロ・ナノ機械の信頼性(3)
J2210305
シリコン単結晶における破壊の結晶方位依存性と製造歩留り
○池原毅(産総研)，土屋智由
[J221-04] マイクロ・ナノ機械の信頼性(4)
J2210404
ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験
○上杉晃生，平井義和，土屋智由，田畑修
J2210406
静電駆動MEMS 光チョッパを用いた時間分解顕微ラマン応力測定
○ 土屋智由，小北雄亮，平井義和，田畑修