4月21日にMohamed Elwi Mitwally君の博士論文公聴会が開催されました.
【論文題目】
- Surface modification and mechanical reliability enhancement of free-standing single crystal silicon microstructures using localized KrF excimer laser annealing
(単結晶シリコン自立マイクロ構造のKrFエキシマレーザ局所アニールによる表面改質および機械的信頼性向上)